放气阀的工作原理及结构示意图

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  放气阀是向真空腔体内导入气体,以破坏真空的阀门(图1)。针对超高真空系统,一般情况下导入干燥的氮气,以避免真空腔体内壁大量吸附水蒸气。放气阀不具备超高真空密封的能力,通常连接在进样室上。

放气阀的示意图

图1 放气阀的示意图

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