放气阀的工作原理及结构示意图

2019-10-05 郭方准 实用真空技术

　　放气阀是向真空腔体内导入气体，以破坏真空的阀门(图1)。针对超高真空系统，一般情况下导入干燥的氮气，以避免真空腔体内壁大量吸附水蒸气。放气阀不具备超高真空密封的能力，通常连接在进样室上。

放气阀的示意图

图1 放气阀的示意图