分压力校准与应用研究系统的发展历史

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州物理研究所 作者:李得天

  20 世纪90 年代以来,我国清华大学和兰州物理研究所相继开展了分压力质谱计校准技术研究。为了满足四极质谱计定量分析的需求,清华大学1993 年研制了一台四极质谱计校准与应用研究系统。为实现在各种应用条件下的分析应用,采用了四种进样方法,即超高真空条件下直接进样、10 - 2~102 Pa 压力范围内的分子流动态进样、高压力下直到大气压的毛细管进样以及微量气体分析时的静态或准静态进样。

  1999 年,兰州物理研究所研制了一台具有三路相同的独立进气系统的分压力质谱计校准装置 。标准分压力通过经校准的磁悬浮转子规(SRG) 以2 种不同的方法进行测量。在第一种方法中,校准室中的分压力直接由接在校准室上的SRG测量;在第二种方法中,校准室中的分压力利用校准室上游每一路进气系统上所接的SRG的读数进行计算。2 种方法可实现10 - 1~10 - 7 Pa 范围内的混合气体校准,不确定度小于4. 2 %。

  2001 年,兰州物理研究所还研制了一台标样气体进样系统。该系统可在较高压力下配置特定的标样气体,然后将标样气体静态膨胀到一个大容器中使压力衰减,再通过分子流小孔将标样气体引入到校准室中,校准室由分子泵抽气机组通过一分子流小孔连续抽气,则校准室中气体成分的比例与最初在较高压力下配置的标样气体成分比例相同。这些系统的建立,将会促进我国分压力质谱计校准技术的研究。

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