日本国家工业科学技术研究院(AIST)的分压力测量系统

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:任国华

  日本AIST 在上个世纪末研制出的分压力测量系统,其工作原理如图6 所示。用电容薄膜真空计石英晶体振荡黏滞真空计作为参考标准,采用电容薄膜规只能测量全压力,而石英规的测量结果与气体的全压力和气体成分相关的特点,实现了两种混合气体分压力的测量。

日本建立的分压力测量系统原理图

图6 日本建立的分压力测量系统原理图

  1.臭氧生成器 2,6,12.质量流控制器 3,5,13.超高真空角阀 4,14.混合点 7.氧气A 8.臭氧气体流 9.电容薄膜压力计 10.石英规 11.氧气B  15.气体混合装置 16.臭氧气体分析器 17.臭氧分解装置 18.排气装置

  石英真空计是利用石英晶体振荡器的阻抗与压力的依赖关系而制造成的黏滞真空计,因为石英晶体振荡器对温度非常敏感,就使得实际的真空计的压力测量下限仅为1Pa,所以建立的校准系统只能在正压和低真空范围内工作,其分压力测量范围是102 ~ 106 Pa。一般质谱计的真空度在10 - 2 Pa 以下,所以系统无法用于质谱计的校准。系统的工作气体是氧气和臭氧,由于系统分析单元的特定性,只能对氧气和臭氧的混合气体进行分压力的测量,所以此系统只能用于特定环境下的分压力测量,使用范围比较小。

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