弹性元件真空计的结构与测量原理

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      利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成的真空测量仪表称为弹性元件真空表。在结构和外形上与工业用压力表类似,一般用于粗真空(102~105Pa)的测量。根据变形弹性元件分类,这类真空计通常有弹簧管式、膜盒式和膜片式,其结构如图3所示。

弹性元件真空表结构示意图

图3:弹性元件真空表结构示意图


      弹性元件真空表性能稳定,其测量范围一般为102~105Pa,精度有0.5级、1.5级和2.5级数种。
      在工业生产中有些设备需要既测量正压(高于一个大气压),也要测量负压(低于一个大气压,即真空状态),因此制成的弹性元件压力真空表,在同一条表盘刻度上同时刻有正压力和真空度。
    弹性元件真空表的主要特点如下:
      (1)测量结果是气体和蒸气的全压力,并与气体种类、成分及其性质无关;
      (2)测量过程中,仪表的吸气和放气很小,同时仪表内部没有高温部件,不会使油蒸气分解;
      (3)测量精度较高;
      (4)反应速度较快;
      (5)结构牢固,选用适当材料能测量腐蚀性气体;
      (6)是绝对真空计,0.5级以上的表可作为标准表。

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