DL-10型真空计产品使用说明书

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)北京大学电子学系 作者:王逊

一、 概述

   DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。

二、 技术要求

1、 测量范围:10—105Pa

2、 电源:交流 220V,50Hz

3、 功率:7W

4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)

三、 原理

  DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :

VAB为晶振两端电压

I 为流过晶振的电流

电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD

  VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。

四、DL-10真空计的安装

  DL-10真空计的安装如图2所示:

  石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2  表示压强值 为3.2×102Pa 。

五、校准

  当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:

  1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。

  2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。

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