氙气质量流量计校准装置的设计

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:赵澜

氙气质量流量计校准装置的设计

赵澜 冯焱 成永军 魏万印 张瑞芳 孙雯君

(兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州 730000)

  摘要:设计了基于定容法的氙气质量流量计校准装置,装置由校准室系统、测量系统、供气系统、抽气系统及数据采集系统等五部分组成。

  在设计时,校准室采用全金属结构,可以整体烘烤,减小漏放气影响;

  采用了高精度的电容薄膜规、铂电阻温度计作为测量仪器,保证压力及温度测量的准确性;

  供气系统中设计两个稳压容器,既保证测量中一定的入口压力,又保证对系统进行清洗和充气的气源;

  抽气系统采用分子泵机械泵串联抽气,提高真空系统的本底;

  采用计算机采集压力、温度及时间的数据,保证数据的可靠性。

  装置的预计气体流量测量范围(5.1×10-4~1.0)Pa·m3/s,Xe气对应的质量流量测量范围为(2.89×10-2~5.78×101)mg/s,标准不确定度为1.2%。

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