氙气质量流量计校准装置的设计

氙气质量流量计校准装置的设计

赵澜 冯焱 成永军 魏万印 张瑞芳 孙雯君

(兰州空间技术物理研究所，甘肃 兰州 730000)

　　摘要：设计了基于定容法的氙气质量流量计校准装置，装置由校准室系统、测量系统、供气系统、抽气系统及数据采集系统等五部分组成。

　　在设计时，校准室采用全金属结构，可以整体烘烤，减小漏放气影响;

　　采用了高精度的电容薄膜规、铂电阻温度计作为测量仪器，保证压力及温度测量的准确性;

　　供气系统中设计两个稳压容器，既保证测量中一定的入口压力，又保证对系统进行清洗和充气的气源;

　　抽气系统采用分子泵和机械泵串联抽气，提高真空系统的本底;

　　采用计算机采集压力、温度及时间的数据，保证数据的可靠性。

　　装置的预计气体流量测量范围(5.1×10^-4～1.0)Pa·m³/s，Xe气对应的质量流量测量范围为(2.89×10^-2～5.78×10¹)mg/s，标准不确定度为1.2%。