普发真空在半导体行业的解决方案

来源:普发真空中国

  现今我们生活中的许多划时代的产品都离不开半导体技术。如果没有真空技术,许多具有开拓性的发明诸如晶体管、集成电路是不可能成为现实的。这些半导体芯片被用于生产电脑、手机、数码相机、MP3、DVD播放机、平板显示器、闪存、汽车控件和家用电器。许多此类的产品只能在洁净的真空环境下进行生产。凭借着丰富的产品组合,普发真空为半导体技术提供完整的解决方案。使用为半导体fab量身设计的产品,普发真空提供着令人映像深刻的一站式解决方案。

  普发真空半导体fab完整的解决方案

  我们的产品可用于fab中4个不同的楼层。最上一层的洁净室包括产品生产和特殊的处理系统如APA 302和APR 4300。它们可以进行高质量的污染物处理。ASM 380检漏仪提供工厂技术人员进行日常管路的巡检和确保生产质量。此外,涡轮分子泵和DigiLine真空计则同PrismaPlus质谱仪一同安装在机台内。集成的A 100 L ES 干泵提供真空给预载室或传送腔。它可以安装在靠近腔体处,也可以是集成在系统中或者安装在下一层fab中。

  系统的冷却设备、供电和射频发生器被安装在更下面一层。最低下一层则是真空干泵和减排系统。

普发真空在半导体行业的解决方案

Fab Model

  普发真空的产品的众多应用

  所有的硅晶片的生产工艺阶段都在fab内进行:比如刻蚀、检测、镀膜、雕刻工艺和离子注入。晶片生产厂商本身、零配件和包装则有特定的生产区域。

  来自于普发真空的解决方案广泛的使用在诸如这类的fab工厂里,为半导体领域的精密生产和独立的设计制造提供了整体的解决方案。

  普发真空提供涡轮分子泵、前级泵、真空泵组、检漏仪、真空计在如下的具体工艺中:

  1、真空镀膜

  2、CVD工艺

  3、刻蚀

  4、离子注入和雕刻工艺

  5、真空传送

  6、晶盘转送

  7、电子显微镜(SEM and SLM)