伯东德国Pfeiffer涡轮分子泵应用于激光分子束外延系统

来源:伯东德国 Pfeiffer

  上海伯东客户某真空设备商采购 Pfeiffer 涡轮分子泵用于激光分子束外延系统。

  激光分子束外延(Lazer MBE)是一种晶体生长技术,将半导体衬底放置在超高真空腔体中,和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中,由分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流能在衬底上生长出极薄的,可薄至单原子层水平,单晶体和几种物质交替的超晶格结构。

  分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长。该方法生长温度低,能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度。

  分子束外延系统对真空度要求及其高,对真空腔体的密封性、材料放气率、微量杂质气体和水蒸气比较敏感,本系统采用伯东德国 Pfeiffer 分子泵对超高真空腔体进行抽真空,确保超高真空及真空的稳定性,对晶格的生长起到很好的作用。

  客户案例:上海某设备商 Lazer MBE 超高真空系统

  系统运行条件:

  1. 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

  2. 超高真空生长室,直径12英寸。

  3. 额定基压:<1x10-6 Torr

  4. 配有12个加热泄流源

  5. 衬底加热器加热温度950℃

  6. 可放置6个1"的靶及3个2"的靶

  7. 质量流量计控制进入真空腔的流量,量程 100sccm

  8. 线型进样室实现全自动送片

  激光分子束外延伯东 Pfeiffer 分子泵配置:

  1.分子泵 Hipace 400 *1

  2.隔膜泵 MVP 020 *1

  3.分子泵 Hipace 80 *1

  4.隔膜泵 MVP 015-2 *1

  5.全量程真空计(PKR 251+TPG 261)*1

伯东德国Pfeiffer涡轮分子泵应用于激光分子束外延系统

  上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。

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