ACP系列干式前级泵作为前级泵的优势

2019-10-05 普发真空中国

  提问:

  在我的涡轮分子泵组里,我用隔膜泵作为前级泵。但是我想要一种抽速更高、本底真空度更好的干式前级泵作为替代,因为我想要在高真空下达到更低压力,而且更加快速地再生低温泵。你有什么建议?有什么需要注意的? 在购买替代品之前有什么我应当考虑的吗?

  回答:

  我们建议您采用我们的ACP系列干式前级泵,相比隔膜泵,该系列具有更高的抽速和更好的本底真空度

  背景:

  ACP泵是一款多级罗茨泵。由于其设计,该类型的泵在抽吸模块没有密封。由于不存在易于变质损坏的抽吸模块密封,运行时的性能参数稳定,泵所产生 的真空非常清洁,没有微粒。通过减少磨损部件,使得泵可以达到很长的维护保养 周期,高达四年或22000运转小时(在所有运行条件下)。这种风冷式泵有三个型号,抽速高达37m³/h,比我们最大的隔膜泵快四倍。此外,ACP泵的本底真空度至少比我们最好的隔膜泵好十倍。对于少量腐蚀性介质的抽吸,选择采用惰性气体 净化的版本。具有气镇的ACP可以用于可冷凝介质。

  你应该考虑以下要点:

  1、如果真空泵输送腐蚀性介质,当泵停机时可能会含有该介质残留物。停电或紧 急停机时正是如此。空气或大气水分等气体从排气管反向扩散回到停止运行的 泵里。例如,空气水分和卤素形成的酸 会腐蚀泵材料。为了避免该过程,所有 ACP泵在泵出口上都配备有止回阀。

  在高真空应用中,气体流量非常小。因此,泵内部无法形成从内部在出口处打 开阀门的压力。真空室和前真空线内的气体成分在高真空下泵循环期间主要为轻质气体,例如氢气。如果这些气体没有被逐出前级泵,由于ACP泵定子和转子之间的间隙,它们会扩散回到泵中,而且,由于使用中的涡轮泵的压缩比恒定,它们还会导致高真空下总压力升高。因此,如果你使用气镇,通过载气流间歇性地逐出轻质气体,这会给你的系统基础压力带来积极作用。

  虽然使用气镇导致前真空线总压力上升至大约0.1mbar,但是由于前真空线的轻质气体部分压力降低,高真空侧的总压力将下降。

  HiPace涡轮泵和ACP前级泵的组合可以在干式真空系统中轻松到达明显低于10-10 mbar(=10-8 Pa)的本底压力。

  2、你在问题中提到你想要再生低温泵。在低温抽气泵再生过程中,大量水蒸气在短时间聚集在一起。为了避免水蒸气在泵内冷凝,应当对其进行加热。由于压缩热量增加,使用气镇使泵得以加热。在低温抽气泵再生之前, 你应当激活ACP泵中的气镇至少三十分钟。再生之后,气镇应当继续运行至少三十分钟。

  两项建议都涉及气镇的使用。对于可以控制和/或远程控制的气镇,除了内置的开关阀门选择以外,可以将变径法兰用螺钉固定到泵定子上代替标准阀门。具体应用的配件可以随意连接到该适配器上。

  当有腐蚀性介质时,应当使用惰性气体,例如干氮气,用作冲洗介质。

  为了在停电期间防止你的系统通过气镇排气,我们建议在前级真空处使用电磁阀