普发真空发布新款节能型干泵A 100 L ES

来源:Pfeiffer Vacuum

  • 节能50%以上

  • 结构紧凑、高抽速

  • 清洁制成的理想选择

  2013年1月23日 德国 阿斯拉(Asslar)- A 100 L紧凑型干泵是专为半导体领域生产设备灵活集成的要求而量身定制开发的一款产品。这款干多级罗茨泵是加载互锁真空室(load-lock chambers)、晶片传送室(transfer chambers )和其他无腐蚀应用(noncorrosive applications)的清洁制成环境中的理想选择。

  尽管这款干泵结构紧凑体积小巧,但她依然能够带来强大的抽速和高速响应的停机时间。现今,A 100 L干泵已经广泛应用于全球领先的半导体工厂,并且非常适用于无尘室工作室。

  在A 100 L基础上研发的新款A 100 L ES(ES=Energy Saving)系列经过测试能够节能50%以上,在低压范围内其抽速表现依旧强大。并且比A 100 L具有更低的极限压力和噪音。

  一个典型的案例:300毫米制成的半导体工厂在加载互锁真空室(loadlock)装备1300台泵,一年能够节约10GWh以上的能源,相当于大约36万欧元,5.1吨的二氧化碳排放。

  此外为了节约能耗,A 100 L ES的极限压力降低到了7x10-4 mbar(hPa)。这开创了在要求低压环境下提高抽气速度新的潜在应用。同时泵的噪音从58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES无疑填补了我们在light duty process中产品节能的要求,就好比我们在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一样都能提供完美的节能产品。

普发真空发布新款节能型干泵A 100 L ES

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  Pfeiffer Vacuum-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵,同时还拥有各种旋片泵,干泵,罗茨泵,氦气质谱检漏仪,真空规,四级质谱仪等产品以及真空管件和综合真空系统。从普发1958年发明涡轮分子泵至今,我们在全球分析、研发、镀膜、太阳能、半导体和其他工业领域,始终代表着创新的解决方案、高品质、稳定可靠的产品和一流的服务。公司自1890年创立至今百余年,现有将近2300名员工,20多家分公司遍布全球,并且在德国、法国、罗马尼亚、韩国设有生产制造基地。

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