真空封接技术中的玻璃-金属封接的结构形式

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

      真空系统中常用的玻璃-金属封接结构,要求封接处具有气密性、一定强度、耐烘烤和一定的电绝缘性能。常用的玻璃-金属封接的类型有:①匹配封接;②不匹配封接; ③过渡封接。

       匹配封接是指玻璃与金属的线膨胀系数在一定温度范围内是相近的(差值小于10%)。不匹配封接时,玻璃与金属线膨胀系数差值较大(差值大于10%)。当玻璃与金属线膨胀系数相差甚大时可采用线膨胀系数介于玻璃与金属之间的一种或几种玻璃来进行过渡封接。

玻璃与金属封接结构示例

(a)B-A 规引线的围封结构; (b) 振动薄膜规上盖的围封结构; (c)可伐法兰与玻璃的管封结构; (d) 多头引线围封结构; (e) 可伐法兰、钼杆与玻璃的围封和管封结构

图1 玻璃与金属封接结构示例

       封接从结构上可分为围封结构、管封结构和盘封结构。围封结构是指封接金属杆的四周是用玻璃包围起来的结构,如真空规管引线等。见图1。常用的管封结构为金属圆管和玻璃圆管的对接结构。如可伐法兰接头与玻璃管的封接。见图1。

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