Pfeiffer涡轮分子泵常见故障及解决方法

　　上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养，常见的故障情况如下：

1、分子泵真空度正常，可以达到全速，但是噪音大

　　分子泵运行超过3年，可能内部陶瓷球轴承已磨损，建议送到上海伯东 Hakuto 进行拆解检测；如果放任不管，后续会磨损转子，对泵体内部造成更严重的损伤。

2、油棉污染

　　油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。

3、分子泵无法启动

　　用手拨动叶片，叶片无法转动，转子已完全卡死，需要立即送修我司检测。

4、异物进入分子泵

　　工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时，会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害，建议立即停机送修检测。

5、分子泵无法达到全速，真空度抽不下去

　　请检查前级真空是否正常，如果是分子泵组，请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下，无法解决问题建议立即送修检测。

6、分子泵返油

　　更详细的咨询，欢迎拨打上海伯东维修专线 ：021-5046-3511。