涡轮分子泵系统操作注意事项及常见故障排除

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

涡轮分子泵系统的操作注意事项

  (1) 不能在前级泵工作时(前级管道接通) 和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

  (2) 分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

  (3)选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

  (4)不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

  (5)分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

涡轮分子泵系统常见故障及排除

  涡轮分子泵抽气系统的常见故障及排除方法见表1。

表1 涡轮分子泵系统常见故障及排除方法

涡轮分子泵系统常见故障及排除方法

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