涡轮分子泵系统操作注意事项及常见故障排除

涡轮分子泵系统的操作注意事项

　　（1） 不能在前级泵工作时（前级管道接通） 和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

　　（2） 分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

　　（3）选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

　　（4）不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

　　（5）分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

涡轮分子泵系统常见故障及排除

　　涡轮分子泵抽气系统的常见故障及排除方法见表1。

表1 涡轮分子泵系统常见故障及排除方法