分子泵操作保养规程

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)德信科技ITO厂 作者:德信科技ITO厂

1、目的

  通过对分子泵的了解,使操作使用人员,更好的维护设备,确保设备正常。

2、范围

  适合于ITO厂所有分子泵。

3、职责

  设备维护人员按本作业指导书规定的内容作业,保证分子泵的正确使用和维护。

4、内容

4.1操作要求

  4.1.1分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上,以防松弛造成漏气;

  4.1.2不能在大气状态下开分子泵,必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀,开启分子泵;

  4.1.3当M2(箱体2)或M7的真空度始终抽不到位时,应检查旋片泵的电磁阀工作是否正常;

  4.1.4在开分子泵前必须打开冷却水阀;在分子泵的叶轮停止运转后,必须关闭冷却水阀;

  4.1.5每次停机后,务必清洁各分子泵的进气口处,使其保持干净,以避免不必要的损坏;

  4.1.6当出现报警信息“EF”时,应检查冷却水路是否通畅,可用气枪检查。确保水路顺畅后,方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵,待后处理;

  4.1.7在分子泵出现问题而不能使用时,应暂停生产,手动充大气后,更换备用的分子泵;

  4.1.8当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常;

  4.1.9当分子泵出现故障时,须根据故障提示作相应处理。

4.2维护与保养

  4.2.1一级保养

  4.2.1.1经常保持分子泵外壳的清洁;

  4.2.1.2正常生产过程中须经常检查分子泵温度,听是否有异常震动和声音;

  4.2.1.3检查分子泵油位是否正常;

  4.2.2二级保养

  4.2.2.1分子泵工作4000工作时以上或一年必须换油一次

  4.2.3三级保养

  4.2.3.1检查泵的绝缘性能;

4.3注意事项

  4.3.1分子泵油量

  4.3.1.1分子泵油量应处于油标上下限之限之间,不得低于油标下限,以保证轴承的良好润滑,油标为红色标志线。

  4.3.1.2分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油。润滑油应洁净,严禁污物,杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。

  4.3.1.3更换润滑油时,油池应清洗干净:第一次使用时,泵工作1000小时后,即应更换;正常工作后。每工作4000小时即应更换,即使工作时间不足4000小时,一年内至少更换一次。如果泵经常烘烤或大负载工作或抽除侵蚀性气体,润滑油充注及更新时间间隔应缩短。

  4.3.2泵污染

  4.3.2.1泵污染的标志是即使漏气和脱附气率没有长时间变化,甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能,这时应对泵进行清洗,清洗需由专业技术人员处理,严禁不经培训而私自拆泵。

  4.3.3冲击防护:分子泵是高旋转机械,动静片间间隙很小,不能抗过大的冲击。

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