德国普发 pfeiffer 分子泵在ITO镀膜生产线上的应用

来源:德国普发

  ITO (Indium Tin Oxide;銦錫氧化物)结晶具有体心立方铁锰矿结构,是一种重掺杂、高简并的宽禁带型半导体材料,具有优良的导电性、可见光透过率以及红外反射率,而且还具有高硬度、耐磨性、耐化学腐蚀特性。因此广泛应用于平板显示器(FPD)和太阳能电池。通常制备ITO薄膜的方法有溶胶凝胶法、磁控溅射法、脉总激光沉积和电子束蒸发等。

  ITO 镀膜过程必须在干净清洁的真空系统中,伯东公司销售的德国普发 pfeiffer Hipace 涡轮分子泵清洁无油,最大极限真空度可达10-11 mbar,转子速率可达90000rpm,广泛应用于此行业。

  德国普发 pfeiffer 涡轮分子泵优点:

  ² pfeiffer 分子泵坚固耐用的设计,实践验证的轴承系统提供了产品的最高可靠性

  ² pfeiffer 分子泵结构紧凑,占用空间小

  ² 高气流量,高抽速;集成,高效的冷却系统

  ² pfeiffer 分子泵可以实现任意位置安装

  ² 保护级别IP 54,非常适合工业领域应用的分子泵类型

  ² 可以提供适合腐蚀气体的分子泵型号

  ² 半导体S2-和ul-认证

  ² 完整的配件系列扩展了分子泵安装的各种可能性

  ² 我们给您提供更长的分子泵维修间隔

  ² 我们可以提供现场更换分子泵轴承

  客户案例:

  深圳某高科为全球最热门的苹果公司提供手机显示屏,pfeiffer分子泵因其优秀性能应用在某高科的ITO生产线中,伯东公司作为德国普发pfeiffer真空设备中国区销售公司,提供完善的售前,售后服务并得到客户一致的好评。

德国普发 pfeiffer 分子泵在ITO镀膜生产线上的应用

  伯东公司从事真空行业多年,拥有经验丰富的销售和技术工程师,并且在上海,深圳设有德国PFEIFFER同步的服务中心,

  伯东公司愿意与所有客户联手合作,共建一个诚信,发展,共同进步的良好环境。

  伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及美国 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.Gamma离子泵

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