德国普发 pfeiffer 分子泵在ITO镀膜生产线上的应用

　　ITO (Indium Tin Oxide;銦錫氧化物)结晶具有体心立方铁锰矿结构，是一种重掺杂、高简并的宽禁带型半导体材料，具有优良的导电性、可见光透过率以及红外反射率，而且还具有高硬度、耐磨性、耐化学腐蚀特性。因此广泛应用于平板显示器(FPD)和太阳能电池。通常制备ITO薄膜的方法有溶胶凝胶法、磁控溅射法、脉总激光沉积和电子束蒸发等。

　　ITO 镀膜过程必须在干净清洁的真空系统中，伯东公司销售的德国普发 pfeiffer Hipace 涡轮分子泵清洁无油，最大极限真空度可达10^-11 mbar，转子速率可达90000rpm，广泛应用于此行业。

　　德国普发 pfeiffer 涡轮分子泵优点：

　　² pfeiffer 分子泵坚固耐用的设计，实践验证的轴承系统提供了产品的最高可靠性

　　² pfeiffer 分子泵结构紧凑，占用空间小

　　² 高气流量，高抽速;集成，高效的冷却系统

　　² pfeiffer 分子泵可以实现任意位置安装

　　² 保护级别IP 54，非常适合工业领域应用的分子泵类型

　　² 可以提供适合腐蚀气体的分子泵型号

　　² 半导体S2-和ul-认证

　　² 完整的配件系列扩展了分子泵安装的各种可能性

　　² 我们给您提供更长的分子泵维修间隔

　　² 我们可以提供现场更换分子泵轴承

　　客户案例：

　　深圳某高科为全球最热门的苹果公司提供手机显示屏，pfeiffer分子泵因其优秀性能应用在某高科的ITO生产线中，伯东公司作为德国普发pfeiffer真空设备中国区销售公司，提供完善的售前，售后服务并得到客户一致的好评。

　　伯东公司从事真空行业多年，拥有经验丰富的销售和技术工程师，并且在上海，深圳设有德国PFEIFFER同步的服务中心，

　　伯东公司愿意与所有客户联手合作，共建一个诚信，发展，共同进步的良好环境。

　　伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及美国 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.Gamma离子泵

　　若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请登录我们网站: www.hakuto-vacuum.com

　　或与我联系: 梦以如 小姐

　　TEL: +86 (021) 5046-3511转106 Fax : +86 (021) 5046-1490

　　E-mail: ec@pfeiffer-vacuum.com.cn E-mail: ec@hakuto-vacuum.com