涡轮分子泵的应用特点

2020-05-03 真空技术网 真空技术网整理

　　1、工作压力范围宽，在 10-1 ～ 10-8 pa 范围内具有稳定抽速；

　　2、起动时间短，能抽除各种气体和蒸气；

　　3、分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。

　　也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用，这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。

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