涡轮分子泵的应用特点

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  1. (1) 工作压力范围宽,在 10-1 ~ 10-8 pa 范围内具有稳定抽速;
  2. (2) 起动时间短,能抽除各种气体和蒸气;
  3. (3) 分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用,这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。
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