罗茨泵的工作原理

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     罗茨泵的结构如图15 所示。在泵腔内,有二个“ 8 ”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为 1 的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。

罗茨泵的结构简图

图15 :罗茨真空泵的结构简图

      罗茨泵的工作原理既具有容积泵的工作原理,又有分子泵的抽气效应。图 16 为罗茨泵的工作原理图。

罗茨泵的工作原理图

图16:罗茨真空泵的工作原理图

由于转子的连续旋转,被抽气体从泵进气口吸入到下转子与泵壳之间的空间 V0 内,吸气后 V0 空间是全封闭状态。随着转子的转动,封闭的 V0 空间与排气口相通,由于排气侧气体压力较高,引起一部分气体反冲过来,使 V0 空间内的气体压力突然增高。当转子继续转动时, V0 空间内原来封入的气体连同反冲的气体一起被排向泵外。这时,上转子又从泵入口封入 V0 体积的气体。由于泵的连续运转,使两个转子不停地形成封闭空间 V0 又不停地将封闭空间玑内的气体排出泵外,从而实现了抽气的目的。

转子主轴旋转一周共排出四个 V0 体积的气体。所以,泵的理论抽速为: (5.1)

式中 A0 ──泵腔的有效吸气面积 mm2

n ──泵轴的转数 r/min

L ──转子的长度 mm

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