影响罗茨泵的最大零流量压缩比的因素

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)浙江真空设备集团有限公司 作者:任跃军

      抽气速率、极限压力、最大零流量压缩比是罗茨泵的最主要的技术性能指标。罗茨泵的前两个性能指标在实际应用中往往作为选配机组时的主要参考数据。而抽气速率与极限压力都不能准确全面地反映罗茨泵的整体技术性能,其数据往往受到前级泵和最大零流量压缩比的影响, 最大零流量压缩比是指在关闭进气管路,罗茨泵入口气体流量为零时, 测得的的出口压力与进口压力之比的最大值,用符号K0max 表示。它实际上反应了罗茨泵的泄漏与返流量占到抽气速率的比例。

      在罗茨泵最大允许压差相同的情况下,最大零流量压缩比的数值最能反映罗茨泵的设计与制造工艺水平。一般来说,最大零流量压缩比K0max增加,则极限压力PA. E下降,容积效率GM增加,有效抽速S增加。因此,在罗茨泵的设计工作中最大零流量压缩比是必须要考虑的。下面将探讨与罗茨泵的最大零流量压缩比有关的一些问题。

零流量压缩比K0

零流量压缩比 

式中 PV ——罗茨泵出口压力

         PA ——罗茨泵入口压力

       S th ——罗茨泵几何抽速

       S r——转子返流速率

        L ——间隙流导


       罗茨泵零流量压缩比K0与出口压力PV 有关系。在较高的PV时,因间隙流导L处于黏滞流状态,流导L在这时有所增加,因而压缩比K0在向高的PV方向上有所下降。在低的PV条件下,流导L处于分子流状态基本上是定值,这时受Sr的影响。K0在向低的PV方向上也是降低的,而在PV=1hPa附近K0有最大值出现。泵的尺寸增加使泵的Sth比L增加得快,因此大容量的罗茨泵的K0也有所增加。

       由上可知,降低罗茨泵的间隙流导和转子返流速率,不但可以提高最大零流量压缩比,而且还能提高泵在各种出口压力下的零流量压缩比,使曲线K0—PV上移。

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