真空镀膜机精抽太慢的几个原因

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  真空镀膜机精抽太慢主要从以下几个方面进行原因查找:

  一、扩散泵可能不太给力。

  解决办法:可以用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限,然后进行对比。

  二、真空系统有微漏。

  解决办法:这就需要慢慢检漏,看看保真空时间能不能达不达标。

  三、箱体太脏,太脏放气量就大了。

  解决办法:清洗箱体

  四、前级真空度不行,机械泵或机械泵罗茨泵的极限真空不行。

  解决办法:可以用电阻规单独检测前级管道。

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