真空镀膜机膜厚监控的方法

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真空镀膜机的操作系统中,最关键最直接的部份首推膜厚监控系统。而当今各厂家所使用的镀膜机监控系统据吾个人所知,不外以下三种;

一、微电脑数控式:利用微电脑设定来控制膜料的输出功率与输出量。此方法操作起来最为简捷明了所镀的膜厚也最为均匀。缺点:无法测得真实的膜厚记录,故此方法一般仅用于溅镀机。

二,水晶振动子式:一般采用二个或更多(以备不测),用此方法所测得结果较准确。但因其本身非常敏感,故极易受外界因素影响。

三,光电式:一般采用蓝光玻璃。因其本身一块即可分成几部份使用,故一般只备用一个玻璃槽即可。用此方法测得结果较为稳定。

不过现在好象又有一种新的监控系统,是利用数控与光电相结合式的,相信其会给我们带来更为准确便捷直观的一种新的革命。

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