脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究

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摘 要:类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注.本文利用脉冲辉光PECVD在不同的脉冲电压下成功地制备了DIE薄膜.采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪等设备对薄膜的相结构、表面形貌和力学性能进行了综合分析.


关键词:脉冲放电;等离子体辅助化学气相沉积法;类金刚石碳膜;Raman光谱;表面形貌


分类号:O484.1 文献标识码:A


文章编号:1672-7126(2008)增刊-033-05

Microstructures and Properties of Diamond-Like Carbon Films Grown by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Gou Wei  Li Jianfeng  Chu Xinpu  Zhang Liping  Li Guoqing 

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