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基于反铁磁材料的室温垂直交换耦合作用和隧道各向异性磁电阻效应
研究了垂直磁化的Co/Pt 和面内磁化的反铁磁IrMn 之间的交换耦合作用,以及隧道结[Pt/Co]/IrMn/AlOx/Pt 的隧道各向异性磁电阻效应(TAMR)。
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基于过滤阴极真空电弧镀(FCVA)制备类金刚石薄膜(DLC)及其场发射性能分析
本课题通过FCVA 方法制备DLC 薄膜,利用拉曼光谱、AFM 等方法,分析其内部结构,表征其微观结构形貌,并测试场发射性能。
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影响磁控溅射制备TiO2 薄膜性能的因素研究
从研究制备条件对Ti02薄膜的透射率及光学常数的影响出发,利用分光光度计测量薄膜的透射率,椭圆偏振光谱仪作为确定薄膜光学参数的测试仪器,研究了不同制备条件对Ti02薄膜光学特性的影响。
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离子源对中频反应溅射沉积AlN 薄膜结构和性能的影响
本文采用离子源辅助中频反应磁控溅射技术沉积AlN 薄膜,通过中频反应磁控溅射解决了因“靶中毒”引起的“打火”和沉积速率大幅度下降的问题;同时利用离子源辅助沉积,进一步提高离化率,从而提高所沉积薄膜的质量。
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高品质金刚石厚膜的微波等离子体CVD沉积技术
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石厚膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石厚膜的首
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