微调阀的工作原理及结构示意图

2014-10-10 郭方准 实用真空技术

　　微调阀的主要应用是精确控制向真空容器内导入气体的流量。图1所示的气体流量微调阀，通过控制无氧铜和超硬合金接触面的气体导通率来控制气体流量，信赖性高。微调阀全部由金属构成，可以耐高温烘烤，能直接连接在超高真空腔体上。

气体流量微调阀的示意图

图1 气体流量微调阀的示意图