真空规管

真空度测量的真空规分为绝对真空规和相对真空规。真空测量栏目主要讲述用于真空度测量的各种真空计及真空测量仪的工作原理及应用。

石英真空计在风洞中的应用

本文基于石英真空计自主研发了一套微压测量系统, 并研究了细长管路对测压系统的影响。

基于MEMS技术的电容式微型真空传感器
介绍了一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器。该传感器主要采用p+硅自停止腐蚀技术和阳极键合技术制作, 形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。
动态流量法超高真空标准装置
研制成功的动态流量超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。
动态流量法超高真空标准装置的性能测试
动态流量法超高真空装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准 系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。
真空计选型指南
皮拉尼(电阻)真空计和冷阴极(电离)真空计选型。
工作用热传导真空计的现场计量校准
工作用热传导真空计的现场计量校准存在问题与解决方法。
超高/极高真空测量发展综述
介绍了热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展。
一种新型智能真空测量仪的研制
叙述的是以DL-5电离真空规为传感器, 用单片机作控制和测量的一种新型智能真空测量仪。文中简述其工作原理, 详叙实现它的方法。
动态流导法真空校准装置
动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1~5×10-7 pa,合成标准不确定度为0.69%~1.4%。
恒压式气体微流量计的性能测试
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(.96×10-9 to4.76×10-4)Pa·m3 / s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB 校准结果的一致性好于1.3%。
一种方便高效的真空规校准装置的设计
讲述了为解决一般采用比对法校准真空规的装置所存在的一次校准真空规数量较少,且由于校准表和被校表处在不同的抽空位置造成的读数误差等问题,所设计出的一套方便高效的真空规校准装置。
静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究
影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP) 消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。这种方法将静态膨胀法真空标准校准能力的下限延伸到了10-7Pa 量级。
DL-10型真空计产品使用说明书
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该 真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。
DL-10型真空计的工作原理与测量范围
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。选用的晶振是Φ2×6型,频率标称值为32.768KHz, 测量范围也是1Pa到大气压。
超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准
经过对超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准,该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10- 7~10- 5 Pa 范围内超高真空规的比对校准。
动态法超高真空比对校准系统原理图
动态法超高真空相对比对校准系统的工作原理是将连续气体注入到校准室中,通过对校准室的连续抽气,当注入的气体与抽走的气体达到平衡时,在校准室内建立起动态平衡压力。