真空系统的主要参数选择与计算

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:巴德纯

1、真空室(容器)的极限压力

真空室(容器)的极限压力

  pj-—真空室所能达到的极限压力

  p0—真空泵的极限真空度

  Q0—空载时,长期抽气后真空室的气体负荷(包括漏气、材料表面出气等)

  Sp—真空室出气口附近泵的有效抽速

  在设计真空系统时,漏气量主要由真空室的极限真空和工作压力来确定。一般选取低于工作状态下气体负荷(工艺生产中放出的气体量)的十分之一。

真空装置允许漏量

真空装置允许漏量

2、真空室的工作压力

真空室的工作压力

  Pg—真空室工作压力

  Q1—工艺生产过程中真空室的气体负荷

  从经济方面考虑,最好在主泵的最大抽速和最大排气量附近选择工作压力。一般工作压力选择在高于极限压力一个数量级。各泵最佳工作范围请见:各种真空泵的工作范围一文。

3、真空室抽气口处泵的有效抽速

真空室抽气口处泵的有效抽速

真空室抽气口处泵的有效抽速

  Sp—真空泵的抽速

  U—管道流导

  S—真空室抽气口处的有效抽速

  当Sp为定值时,真空系统的有效抽速随管道流导变化,如下图。

真空系统的有效抽速随管道流导变化

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