如何选配合适的前级泵和预抽泵

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    真空系统的主泵选定之后,重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。通常前级泵直接影响主泵的抽气性能,影响真空系统的抽气时间和经济效益。配前级泵时应遵循如下几点规定:

    (1)前级泵应保证能及时排出主泵所排出的气体流量。

    (2)前级泵在主泵(如扩散泵、油增压泵,分子泵和罗茨泵)出口处造成的压强应低于主泵的最大排气压强。

    (3)兼作预抽泵的前级泵应满足预抽时间的要求。

    当选用油蒸气流泵作为主泵时,配前级泵的方法可以按经验标准所推荐的前级泵的大小来确定,见表4。

前级泵大小的选取方法

    所配前级泵确定之后,即可按前级泵的入口尺寸选择前级管道阀和预抽管道阀,确定备部分连接管道的尺寸。根据以上的确定,可绘制出真空系统设计图。

    分子泵作为主泵时,其抽气能力与前级泵的抽气能力有密切关系。分子泵的前级侧需要保持分子流状态,它才能稳定工作。为了保证分子泵前级侧处于分子流状态,通常按式(47)选取前级泵的抽速。

    罗茨泵作为主泵时,由于罗茨泵的转子与转子、转子与定子之间的间隙较大,所以它对气体的压缩比较小,一般其前缀泵要大些。通常可用油封机械泵或水环泵作为罗茨泵的前级泵,前级泵的抽速可根据经验公式(48)选取。

 

前级泵的抽速计算公式 

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