涡旋干式真空泵相关技术和安全使用问答
2008-10-25 鬼马 真空技术网整理
Q：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
Q：涡旋干式真空泵的特点？
A：◇无油、无污染
◇低噪音、低振动
◇使用寿命长
◇空气冷却
◇配气镇阀、可抽可凝性气体
Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
◇用于液晶注入系统；
◇分子泵真空系统的前级泵；
◇真空密封泵；
◇冷泵前级；
◇用于科学和化学分析仪器；
◇真空发生器；
◇电子显微镜前级泵。
Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
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项 目
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指 标
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| 型号 | DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵) | |||
| 抽气速率 | 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. | |||
| 极限真空度 | ≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启) | |||
| 噪音 | ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭) | |||
| 电机 | 单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W | |||
| 最大连续进气压力 | 30,000Pa | |||
| 最大抽水蒸气能力 | 23克/小时 | |||
| 电机 | 4芯，0.6千瓦 | |||
| 电源 | 三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A |
单相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A |
三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A |
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| 电机速度 | 1425 rpm（50 Hz） |
1430 rpm（50 Hz）
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| 环境温度 | 1710 rpm（60 Hz） |
1710 rpm（60 Hz）
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| 进气口直径 | 5～35 ℃ | |||
| 排气口直径 | NW40 | |||
| 外型尺寸 | NW25 | |||
| 重量 | 41kg |
44kg
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| 漏率 | ≤6x10-2Pa L/S | |||
| 附件 | 计时器(零件号502365)和说明书 | |||
