中科仪与大基金等达成投资意向，加速国产真空干泵发展升级

　　10月14日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称“中科仪”)发布公告称，中科仪与国家集成电路产业投资基金股份有限公司(以下简称“大基金”)、宿迁浑璞五期集成电路产业基金(有限合伙)(以下简称“浑璞投资”)和国科科仪控股有限公司(以下简称“国科科仪”)达成战略投资意向，拟于近期签订战略投资协议。

　　根据协议，大基金、浑璞投资和国科科仪就中科仪真空干泵产业化升级等战略投资事宜达成意向，投资金额分别为不超过人民币1.4亿元、7000万元、5000万元，投资方式包括但不限于受让老股、认购新股等。

　　中科仪是一家专业从事真空仪器装备、真空获得设备研制生产并服务于集成电路产业及科研领域的企业。公告表示，中科仪获得国家重大专项支持的真空干泵已经在中芯国际、长江存储、华力微电、北方华创等国内知名集成电路生产制造企业及集成电路装备制造企业产业化推广，打破了一直以来由国外厂家垄断的局面，目前，该公司是国内唯一一家在集成电路领域替代进口的真空干泵生产制造企业。

　　在集成电路生产线种类众多的整机装备中，70%左右都需要在真空的工艺环境生产组装。真空干泵及真空阀门是关键的洁净真空子系统，其作用是获得、维持与控制集成电路装备整机洁净真空运行环境，在生产线中应用最为普遍，市场需求巨大。

　　中科仪研发团队先后攻克了集成电路制造工艺与洁净真空获得系统优化组合、全新理论型线设计与多种转子形式组合、全新密封结构和振动/噪声抑制方法、表面防腐技术、独特的控制/反馈软件与通用控制接口结合、阀门密封技术以及独特的电机与驱动系统设计等关键技术。

　　此外，作为国内干泵的领军企业，中科仪承担了国家发改委振兴东北老工业基地高新技术产业化示范工程专项——IC装备超洁净真空的研制并开展了系统项目的实施工作，组织承担并完成了国家“十五”IC装备重大专项子课题——IC生产线用罗茨干泵项目。

　　今年8月，中科仪发布股票发行预案，拟非公开定向发行股票，预计募集资金不超过3亿元，要用于补充流动资金、新一代高效节能真空干泵研发、建立干泵产业化基地、技术服务和维修中心建设。

　　中科仪未在公告中提及此次即将签订的战略投资协议是否与上述募资事项有关，其表示本协议对公司的业务独立性不构成影响，公司主要业务不存在因履行本协议而对合作方形成依赖的可能性。

　　但无论如何，大基金、浑璞投资等战略投资者的关注及加入，将有望助力中科仪真空干泵进一步产业化，加速国产真空干泵发展升级。