涡轮式干泵的原理和排气过程示意图

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  涡轮式干泵是近年来迅速普及的一种新型干泵,由于其性能优越,在真空领域特别是科研用真空设备方面,正在迅速取代传统的油封式旋片泵。其主要优点如下:

  (1)具有较高的压缩比,在较宽的压强范围内有稳定的抽速;

  (2)结构简单,可靠性高;

  (3)工作压强范围宽,功率变化小。

  涡轮式干泵的基本原理如图1所示,气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙压缩腔内被压缩,涡旋定子固定在机架周边上,在涡旋定子的周边上开有吸气口,在涡旋转子和涡旋定子涡旋体中心部开有排气口。涡旋定子和涡旋转子的涡线基本相同,两者相位错开180°,结果在两个涡旋体之间形成了一系列月牙压缩腔。涡旋转子转动时,月牙压缩腔一面向中心移动,其容积一面连续地变小,完成涡轮式干泵的吸气、压缩和排气过程。

涡轮式干泵的原理和排气过程示意图

图1 涡轮式干泵的原理和排气过程示意图

1—涡旋转子;2—涡旋定子

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