低温泵故障分析及解决措施探讨

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)可靠性与环境工程技术重点实验室 作者:许忠旭

低温泵故障分析及解决措施探讨

可靠性与环境工程技术重点实验室 北京卫星环境工程研究所 许忠旭 刘志强

通信地址:北京5142 信箱53 分箱

  摘要:制冷机低温泵是目前环模设备使用最多的真空获得设备,也几乎是大型环模设备获得清洁高真空环境的唯一选择。低温泵使用方便,可靠性高,故障率低。

  笔者在单位工作过程中先后使用过美国CTI、CVI、奥斯汀、德国莱宝等多个厂家的低温泵,对于低温泵使用过程中发生的故障在判断、定位、解决方法等方面积累了一定的经验。

  本文将重点对低温泵的典型故障进行分析,并提出部分解决方法。

  关键词:低温泵 环模设备 故障 解决方法

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