低温泵再生的判断方法与条件

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

  再生的起始条件因低温泵应用场合而异,对连续抽气过程来说,一般只要满足下面两个条件中的一个,低温泵就需要再生:

  (1)低温泵在无其他附加热负荷时,二级冷头温度超过20 K 或一级冷头温度超过130 K;

  (2)高真空阀门关闭5 min后泵内压力在1×10-4 Pa 以上。

  而对一些间断抽气过程来说,由于高真空阀门开启时,冷头温度必定会产生波动而且冷头温度的恢复时间与预吸附的气体量、低温泵的最大吸入气体量等有密切关系,因此在这些情况下还需要根据实际情况下允许的波动时间确定再生条件。

  对非自动控制的低温泵抽气系统来说,一般,低温泵的生产商会提供一个再生的参考时间,但由于实际情况的差异,还是要求操作者根据实际经验来判断是否可以结束再生,而一些自动化程度较高的低温泵系统可以自动进行判断。

  一般是在再生进行到某一阶段后,将低温泵粗抽到某一合适的压力值,关闭粗抽阀,测量压力上升的速率并与控制器内存储的经验值进行对比,如果不满足条件,则需要继续对低温泵进行加热。这一过程也可以采用一定时间之后的压力值来判断。考虑到真空状态下对放气测量的精度要求和时间较短的要求,在1 Pa 左右进行测试是比较合适的。对采用加热带加热的再生方式,由于对泵抽空后的加热效果不佳,因此进行判断的开始时间,两次判断的间隔时间需要根据实际情况进行确定,采用泵内加热板加热再生时无需考虑这两个问题。

  低温泵再生的判断方法与条件为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/pumps/gas/cryopump/012335.html

  与 低温泵 相关的文章请阅读:

  低温泵http://www.chvacuum.com/pumps/gas/cryopump/