低温泵抽气系统常见故障的排除方法

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

  低温泵真空抽气系统故障的最基本现象是真空系统中的压力升高。引起系统压力升高的原因:一是真空系统的漏气;二是低温泵的工作出现故障。

  真空系统的漏气可以用氦质谱检漏仪分别对真空容器和低温泵本身进行检漏,若发现不漏气,则必须按以下情况逐一排除低温泵的故障。

一、真空容器中压力升高(二级冷阵的温度低于20K)

  可能原因为:

  1、真空系统或低温泵本身有漏气,可以通过a.进行真空系统检漏;b.检查安全减压阀是否复位;c.对低温泵机械检漏来排除。

  2、被抽容器中存在着He、Ne、H2 等不可凝气体(因吸附板饱和),可以对泵进行再生处理来解决此故障。

  3、固定二级冷阵的螺钉松动,使吸附抽气表面温度高于20 K(一般情况下,此种可能性较小),处理此类故障可以将泵恢复到常温后,检查一、二级冷阵装配情况。

二、真空容器中压力升高(低温表面的温度低于20K)

  可能原因为

  1、二级冷阵的吸附器已吸附饱和,此时需要对泵进行再生。

  2、抽气负载过高,可以通过利用屏蔽或降低辐射表面温度来解决此类故障。

三、低温泵二级冷阵的温度达不到20K,或需很长时间才能达到20K。

  此类故障的原因一般为:

  1、制冷机制冷能力变差,解决这类故障的方法a.检查压缩机供气压力是否正常,如压力低机械补气;b.对泵进行再生处理;c.蓄冷器被污染,或一、二级密封环磨损。

  2、压缩机气压低,这时就需要对其补气。

  3、真空系统或低温泵本身有漏气,此时需要a.真空系统进行检漏;b.泵检漏、安全阀是否复位。

  4、低温泵内部存在较多的He、Ne、H2 等不可凝气体(分压较高),这时用干燥N2 气冲洗或再生即可。

  5、压缩机工作不正常,这时需要检修压缩机。

四、低温泵发出隆隆响声,这时一般都是50Hz/60Hz 开关位置错,只要置开关于正确位置即可解决此类故障。

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