真空系统中的真空元件的常用材料

2008-10-28 剑气书生 真空技术网整理

1.1、结构材料

   真空系统结构材料是构成真空系统主体的材料，它将真空系统与大气隔开，承受着大气压力。这类材料主要是各种金属和非金属材料，包括可拆卸连接处的密封垫圈材料。

1.2、辅助材料

    真空系统中某些零件连接处或系统漏气处的辅助密封用的真空封脂、真空封蜡、装配时用的粘接剂、焊剂、真空泵及系统中用的真空油、吸气剂、工作气体及系统中所用的加热元件材料等。

    随着真空科学技术的进展，新工艺、新材料肯定将不断出现。常用的真空系统材料见表1。
表1  真空系统中的真空元件的常用材料
零部件名称
低真空及高真空
超高真空
壳体、管路、阀、内部零件 普通碳素钢、不锈钢 不锈钢、钛
密封垫圈 丁基橡胶、氟塑料 氟橡胶、氟塑料、铜、金、银、铟
导电体 铜、不锈钢、铝 铜、不锈钢
绝缘体 酚醛、氟塑料、玻璃、陶瓷 玻璃、致密高铝瓷等
视窗 玻璃 硼硅玻璃、透明石英玻璃
润滑剂 低蒸气压的油及脂 二硫化钼、镀银或金
加热元件 镍铬铁合金、钨、钼、钽、碳布 钨、钼、钽、钨—铼合金、石墨碳纤维