真空容器壳体及内部零件对材料的要求
①有足够的机械强度和刚度来保证壳体的承压能力。
②气密性好。要保持一个完好的真空环境,器壁材料不应存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷。有较低的渗透速率和出气速率。
③在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低(对超高真空系统来说尤其重要)。
④化学稳定性好。不易氧化和腐蚀,不与真空系统中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。
⑤热稳定性好。在系统的工作温度(高温与低温)范围内,保持良好的真空性能和机械性能。
⑥在工作真空度及工作温度下,真空容器内部器件应保持良好的工作性能,满足作业工艺的要求。
⑦有较好机械加工性能及焊接性能。