真空检漏的一些辅助设备

真空检漏 真空技术网 真空技术网整理

1、 充氦充氮氟油检漏平台

  充氦充氮氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的专用设备,它与氦质谱检漏仪配套使用,完成GJBI128A-97国家标准和GJB548-96军用标准中,对半导体器件零件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。

  此平台的工作过程是:

  1、氦精检漏实验,将半导体零件或器件置于高压容器中,按国家标准中的规定,根据被检件的体积大小,施加不同的压力和氦气,保持不同时间,减压后把被检件从容器中取出来,在氦质谱检漏仪上检漏,根据漏率值判断是否合格。

  2、粗检漏实验,将精检漏后的被检件放入真空加压罐中抽真空,注入一定量的氟油,再保压一定时间,放空取出后,放入专门加温的氟油中,根据有无气泡判断是否合格。全过程连贯进行,操作简单,安全可靠,工作环境清洁。

2、多工位高真空排气检漏台

  多工位氦质谱检漏高真空排气检漏装置适用于工业领域高压开关管、微波发射管等要求大批量、多品种、高灵敏度、快速检漏产品的检漏设备。

  该系统由检漏仪和检漏平台两部分组成,检漏仪用于判断工件是否泄漏;检漏平台对工件进行真空预抽,检漏平台有左右两组相互独立的检测工位,每组工位设置了1-3个检测接口;一组工位抽真空的同时,另一组工位进行检测或装卸工件,缩短了检测周期,提高了工作效率。由可编程工业控制器(PLC)对检测全过程进行自动控制,保证了系统的稳定性、可靠性,操作十分简单,方便了使用者。

  主要技术指标和参数:

  1、电源: 220V 12A

  2、真空度:5×10-3 Pa·m3/S

  3、工作节拍空载:20S/拍

  4、启动时间:<10min

  5、响应时间: <5S

  6、压缩空气: 5~6kg

  7、环境温度: 5~35℃

  8、空气相对湿度: <80

  9、工作环境附近无强磁场、无剧烈震动、无腐蚀性气体;室内通良好,以避免氦气干拢。