真空检漏法的检漏方法介绍

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术培训讲座 作者:真空技术网
检漏方法 工作压力[Pa] 现 象 设 备 最小可检漏率[Pam3/s]
静态升压法   抽真空后封闭,压力上升 真空计 10-5~10-6
放电管法   放电颜色改变 放电管 10-3~10-4
高频火花检漏器法 103~10-1 亮点,放电颜色改变 高频火花检漏器 10-3~10-4



热传导真空计法 103~10-1 施用示漏物质真空
计读数变化
热偶或电阻真空计 10-6
电离真空计法 10-2~10-6 电离真空计 10-9
差动热传导真空计法 103~10-1 热传导真空计差动组合 10-7
差动电离真空计法 10-2~10-6 电离真空计差动组合 10-10
有吸附阱的热传导真空计法 103~10-3 液氮冷却活性炭阱,
热传导计
10-7
有吸附阱的电离真空计法 10-2~10-6 液氮冷却硅胶阱,
冷阴极电离计
10-11~10-13
氢钯法 7×101~10-5 氢气通过钯管进入
真空规,读数变化
钯管,电离计 10-7~10-11
离子泵检漏法 10-5~10-7 示漏物质使离子流变化 离子泵 10-9~10-12
卤素检漏仪内探头法 10~10-1 输出仪表读数变化 卤素检漏仪 10-7~10-9
氯质谱检漏仪法 10-2 输出仪表读数及
声响频率变化
氦质谱检漏仪 10-12~10-14



射频质谱计法 10-2~10-4 施用示漏物质输出
仪表读数变化
射频质谱计 10-6~10-11
回旋质谱计法 10-3~10-7 回旋质谱计 10-7~10-12
四极滤质器 10-1~10-4 四极滤质器 10-10~10-11

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