卤素检漏仪的工作原理和性能测试方法

2008-09-24 真空技术网 真空技术培训讲座

     用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪。该类仪器分两类:其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)卤素检漏仪;其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等,其中氯里昂12最好。卤素检漏仪灵敏度可达3.2×lO-9Pam3/s。

    (1)工作原理与结构

    金属铂在800~900oC温度下会发生正离子发射,当遇到卤素气体时,这种发射会急剧增加。这就是所谓的“卤素效应”,利用此效应制成的卤素检漏仪的结构示意图如图8所示。

卤素检漏仪的结构示意图

图8:卤素检漏仪的结构示意图

     传感器是个二极管,加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用铂材制成。阳极被加热丝加热后发射正离子,被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出来,且有音响指示。
电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携式的吸气装置电源等组成。

    (2)性能测试方法

     灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数。其测试方法与氦质谱检漏仪的相同,这里不再赘述。但是,卤素检漏仪的指示与卤素气体的浓度有关:一般,低浓度的指示是线性的,中等浓度的是非线性的,而当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。所以在进行性能测试或检漏时,进入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1~10oPa压力范围内工作,压力过高或过低都会导致仪器灵敏度的下降。    便携式卤素检漏仪的传感器基本上是在大气压下工作的,靠吸气装置吸入气体,使卤素气体流经传感器。