真空装置常见污染及其处理方法

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)中国电子科技集团公司第四十五研究所 作者:陈占杰

低真空装置的污染及其处理


       低真空装置如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等要求具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽气机组,这类低真空抽气机组主泵常用往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气喷射泵、水环泵罗茨泵等。使用的低真空抽气机组还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、干燥罐等部件。

        水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵混合形成悬浮液,不仅会使真空度下降,也能使泵腔与转子生锈,破坏密封面,使泵的极限真空度下降。为此,防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有:

(1 )选用带有气镇装置的油封机械泵;

(2 )装油分离器、离心式分离器或油水分离器,将混有水的机械泵油进行处理,处理过的油再流入泵中使用;

(3 )使用吸水性强的干燥剂;


(4 )使用液氮冷阱,不仅能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挡机械泵油向高真空室返流。

油扩散泵真空系统污染与防治


        油扩散泵真空系统是使用最广泛的真空系统,其获得真空度范围为1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置,长期使用后,常见的故障是真空度抽不上去,或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关,防止的办法是:

(1 )定期清洗真空室;

(2 )定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清洗。

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