JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数

2012-05-10 全国真空技术标准化技术委员会 真空技术网整理

标准编号:  JB/T 4081-1991
中文标准名称:  溅射离子泵 型式与基本参数
代替标准号:  JB4081-85,
标准简介:
JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。
中国标准分类号:  J78

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标准上传日期:  2010-1-9
发布日期:  91-07-22
实施日期:  92-07-01
标准类别:  机械行业标准
标准页数:  
归口单位:  沈阳真空技术所
起草人:  冯玉国
起草单位:  机械电子工业部沈阳真空技术研究所
文件格式:  PDF格式

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