纳米氧化物薄膜的APCVD法制备、微结构与稳定性

纳米氧化物薄膜的APCVD 法制备、微结构与稳定性

韩高荣 高 倩

(浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程系 杭州 310027)

　　摘要：根据中国建筑节能的需要, 针对高效节能镀膜玻璃对膜层材料的不同要求，采用常压化学气相沉积法(APCVD)在浮法玻璃基板上沉积制备了掺氟氧化锡薄膜、氧化钛薄膜等各类节能功能镀层。研究了反应温度和反应气体流量等工艺对功能薄膜的微结构和玻璃节能性能的影响。利用X 射线衍射(XRD)仪、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针电阻仪、霍尔测试仪和分光光度计等对各类薄膜的微结构、形貌、以及光电性能进行了分析，系统研究了热处理温度和时间对纳米氧化物薄膜的微结构和功能稳定性的影响规律，得到了一系列有重要科学意义和实际应用价值的结果。

　　根据浮法平板玻璃的生产技术和工艺特点，采用热分解化学气相沉积方法和金属有机化合物化学气相沉积方法，通过多层复合，解决了功能复合薄膜的设计、制备、性能优化等理论和实践问题，获得了具有自主知识产权的浮法在线玻璃镀膜技术，可实现低成本、大面积、大规模的工业化生产，成功地在浮法玻璃基板上制备出低辐射镀膜玻璃等新型节能镀膜玻璃，其辐射率、均匀性及可见光透射比和可见光反射比等指标均达到国外生产的国际知名品牌的同类产品性能，取得了重大的经济效益和社会效益，推动了中国玻璃行业的技术进步。