DL-10型真空计的工作原理与测量范围(2)
四、DL-10真空计的测量范围
DL-10的上下限由压强误差不超过10%确定，实验 证明DL-10的上限可达100KPa，即一个大气压。下限误差决定于 Z0的漂移。
DL-10真空计Z0的漂移如图3所示：
纵坐标是Z0值，横坐标是时间。由 图3可见，15分钟内Z0漂移小于20Ω，而Z0漂移200Ω会 引起压强指示值1Pa的变化。因此漂移小于20Ω，1Pa误差小于10%。 图4示出在零点调节后DL-10的对比曲线，纵坐标是DL-10的读数，横 坐标是MKS薄膜真空计的读数。由图可见DL-10下限为1Pa，在 10-1Pa也有指示。
五、与其他真空计的比对
图5 是DL-10与其它真空计的比对曲线，纵坐标 是DL-10的读数，横坐标是MKS薄膜真空计及DL-4压敏电阻真空计的读 数。由图可见，DL-10真空计的上限为105Pa 。
六、测试结果
我们将一台DL-10真空计送到中国计量科学院进行校准，测试结果如下：压强在1~105Pa，误差不超过 10%。
七、讨论
1、根据上述DL-10性能的测试，按计量部门的真空计量器具分类，DL-10真空计可属于工作用真空计。
2 、石英晶振测量压强的性能有一定零散性，每支晶振都有独自△Z VsP曲线，因而每支晶振都要进行测试。
3、石英晶振的 谐振阻抗与晶振谐振时的机械振动所受气体阻力有关，而阻力与气体 性质有关，因此石英真空计的读数与气体种类有关。
4 、石英晶振原本不是用来测量压强的，生产厂没有提供有关压强的资 料，做真空计使用时需专门的测试，我们仅对Φ2×6型晶振进行了测 试，为了获得优良的压强性能，还应对其它型号晶振进行测试与研究 ，以便选择最好的晶振作压强传感器。
5、作为石英真 空计产品测量范围为10—105Pa。压强小于10Pa，长时间 测量Z0的漂移会增大很多，误差也会增大很多。
综上所述，石英真空计具有价格低廉，误差较小 ，量程较宽等优点，值得推广使用。
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