温度变化对正压漏孔校准装置本底漏率的影响实验研究

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:冯焱

温度变化对正压漏孔校准装置本底漏率的影响实验研究

冯焱,张瑞芳,盛学民,董猛

(兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州 730000)

  摘要:在实验室条件下,由于温度变化引起正压漏孔校准装置本底漏率的变化是影响正压漏孔校准下限的主要因素,因此为尽可能减小温度对正压漏孔校准的影响,采用水浴恒温技术,利用主动恒温与被动恒温相结合的方式进行恒温。

  实验证明,在未采取恒温措施的情况下,正压漏孔校准装置的本底漏率为10-8 Pa •m3/s 量级,而在采用恒温措施后,本底漏率下降到10-9 Pa •m3/s 量级,且从实验标准偏差可以看出采取恒温措施后的本底漏率稳定性更好。测量本底漏率后,采用压力锯齿波动恒压法对一支标称漏率为10-8 Pa •m3/s 的正压漏孔进行校准实验。

  经过多次实验证明,采取恒温措施后,实现了正压漏孔最小漏率为2.667×10-8 Pa •m3/s 的校准。

  关键词:正压漏孔; 恒温实验;水浴恒温;本底漏率

  温度变化对正压漏孔校准装置本底漏率的影响实验研究为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/vacuum-measure/gauge/032807.html

  与 真空规管 正压漏孔 相关的文章请阅读:

  真空规管http://www.chvacuum.com/vacuum-measure/gauge/