典型的真空系统的型式

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

       用于满足某种工艺要求,能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。典型的真空系统如图1及图2所示。

典型的真空系统原理图

1. 真空室放气阀2. 电离真空规3. 热偶真空规4. 流量调节阀5. 高真空阀6. 扩散泵7. 储气罐8. 热偶规管( 测扩散泵前级压力) 9. 前级真空阀10. 压力传感器11. 预抽阀12. 罗茨真空泵13. 旁通阀14. 电磁放气阀15. 机械真空泵

图1 典型真空系统原理图

典型的真空系统原理图 

1. 真空室2. 电离真空规3. 热偶真空规4. 放气阀5. 高真空阀6. 冷阱7. 扩散泵8. 前级真空阀9. 电磁放气阀10. 机械真空泵11. 预抽阀

图2 典型真空系统原理图

        真空系统按其工作压力进行分类,可分为:1)粗真空系统(工作压力大于1330Pa);2)低中真空系统(工作压力在1330~0.13Pa);3)高真空系统(工作压力在0.13~1.3×10-6Pa);4)超高真空系统(工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa) ;5)极高真空系统(工作压力低于1.3×10-10Pa) 。

       按真空系统所要求的清洁程度可分为:1)有油真空系统(真空室有油蒸汽污染);2)无油真空系统(真空室无油蒸汽污染)。

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