涡旋型干式真空泵的工作原理

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:杨乃恒
          涡旋型干式真空泵以其转动方式不同,分为两种型式:一种是一个涡旋固定不动(称为静涡旋),另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转(称为动涡旋)的公转型(Orbiting type);另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型(Rotat ingtype)它的两个涡旋都是动涡旋。

        目前公转型多为双腔卧式泵,而回转型多为单腔立式泵。其工作原理如图8所示,气体从周边吸入向中心压缩由中间排气,实现连续吸气,压缩和排气的整个抽气过程。这种泵压缩平稳、驱动力矩变化小,故振动小、噪音低(60dB(A)),相邻的二个月牙腔容积的压差小,故间隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到较高的压缩比,这种泵从大气压抽到极限压力1~1021Pa,泵的抽速为20~50m3/h,它是一种节能型产品,市场已有出售。

公转型涡旋型真空泵的抽气原理 

(a) 公转型

回转型涡旋型真空泵的抽气原理 

(b) 回转型

图8 涡旋型真空泵的抽气原理图

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