螺杆式干式真空泵的特点及应用

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螺杆式干式真空泵特点如下:

  ①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。

  ②操作维护方便。

  ③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。

  ④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.

  ⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

  尽管螺杆型干式真空泵具有这么多的优点,然而,由于目前国内一些公司正在使用的螺杆型干式真空泵均是从国外进口,价格非常昂贵,每台螺杆泵价格要三、四十万元人民币,所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这一现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂,加工难度大,需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外,对螺杆型干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求,而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。

  螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等应用范围极为广泛。

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