某型磁悬浮涡轮分子泵的设计与分析

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)北京中科科仪股份有限公司研发中心 作者:李兵

某型磁悬浮涡轮分子泵的设计与分析

李兵 邹蒙 李奇志

北京中科科仪股份有限公司研发中心 北京 100190

  摘 要:涡轮分子泵是一种低振动的高速旋转机械,其涡轮等关键件设计的准确性直接关系到产品的性能和可靠性。

  本文以某型磁悬浮涡轮分子泵部分设计的实例,分析了涡轮的主要载荷和振动特性、涡轮分子泵在应用上的传热问题,同时针对试验过程中出现的问题,给出了相应的解决措施和思路,为涡轮分子泵的设计提供了参考。

  关键词:磁悬浮分子泵 涡轮 有限元分析

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