常用的低真空抽气机组型式

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

       低真空抽气机组的工作压力范围约在1330~100Pa之间,其主要特点是工作压力高、排气量大,但抽速比中、高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等装置中。

       低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵,分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等。一般情况下,低真空机组中的主泵均能直接排大气。使用低真空抽气机组,还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥或挡油阱等部件。

油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施

       油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸汽的气体。水蒸汽在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能,使泵的真空度下降。一般采取的措施有: 使用带有气镇装置的油封机械泵,并使泵的工作温度控制在75~90℃之间,以减少气镇阀负担; 在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,将混有水的机械泵油进行处理,处理过的油再进入泵中使用;使用各种干燥吸附剂做成捕集吸收水蒸汽;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸汽,同时还可阻挡机械泵的油蒸汽向真空室的返流。

常用低真空机组型式

油封机械泵低真空机组

1. 机械泵2. 放气阀3. 热偶规4. 管道阀

图3 油封机械泵低真空机组

有挡油阱的低真空室机组 

1. 机械泵2. 放气阀3. 挡油阱4. 热偶规5. 管道阀

图4 有挡油阱的低真空室机组

       图3为油封机械泵低真空机组,图4为油封机械泵加上挡油阱的抽气机组,适用于化学气相沉积装置、真空包装、医药工业等领域。

双级水环泵—大气喷射泵机组

1.水环泵2.止回阀3.管道阀4.大气喷射泵5.空气进入阀6.排气阀7. 气水分离器8. 排水口

图5 双级水环泵— 大气喷射泵机组

      图5为由双级水环泵和大气喷射泵串联组成的低真空机组,机组的极限压力为1300Pa。工作时,先开动水环泵,以获得大气喷射泵所需的预真空,使大气喷射泵的进气口与出气口之间有压力差,大气便通过喷射进入泵内形成高速运动气流,将被抽气体吸入,经扩压器到前级被水环泵排走。该机组适用于真空蒸发、真空浓缩、真空浸渍、真空干燥、真空冷冻等工艺过程。

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