钛泵栏目简介

钛泵是一种无污染的超高真空泵,可分为钛升华泵,钛蒸发泵等几种。钛泵栏目主要讲述了钛泵的工作原理,钛泵的结构,钛泵电源以及钛泵故障诊断分析。

一种大功率微波源真空钛泵电源系统

本文从钛泵的原理出发,使用晶闸管交流调压技术、倍压整流、光纤隔离技术及微处理器设计了一种高电压直流电源系统,电源主要参数为5kV/10mA。

钛泵的结构与抽气机理及维护
介绍加速中的钛溅射离子泵的工作原理、结构原理和基本维护方法。
用钛升华泵提高BEPCII同步辐射环真空度
BEPCII同步辐射要求储存环真空室在束流运行时具有较高的真空度,而在供光初期由于束流清扫不够,往往难以达到足够高的真空度,因而束流寿命较低。通过激活同步辐射储存环上的钛升华泵可以明显提高真空度,从而改善束流寿命。
微型离子泵抽速测试结果及误差分析
用高纯氮气为抽速测试气体,离子泵对N2 抽速≥013 L/ s。根据二极型溅射离子泵对不同气体抽速的经验比值可知,溅射离子泵对N2 抽速为对干燥空气抽速的85%。
动态流导法测溅射离子泵抽速原理与步骤
参考机械行业标准JB/T2965,探讨了微型溅射离子泵性能测试实验方法,改建了实验系统,测量了微型溅射离子泵各项性能指标。
微型溅射离子泵测试系统及测试方法
参考国内外溅射离子泵的测试方法和行业标准,提出了微型溅射离子泵性能的测试方法,并利用现有实验设备设计了测系统,实际测试了微型溅射离子泵的各项性能指标。
溅射离子泵泵体发烫故障原因分析
溅射离子泵泵体发烫故障的发生通常是由于泵内压强过高或者油气进入。
溅射离子泵抽速或真空度下降的故障分析
溅射离子泵抽速或真空度下降可能因为离子泵漏气、离子泵吸气剂饱和、离子泵泵体重装后处理不当等原因造成的。
钛泵和溅射离子泵的工作原理
钛泵是真空泵的一种, 但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构, 也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气, 能得到清洁的高真空, 这对于提高光源质量有很大的帮助。
溅射离子泵的抽气特性
 溅射离子泵的抽气特性如溅射离子泵的极限压强、溅射离子泵的抽速、溅射离子泵在抽除惰性气体氩不稳定性、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感等等。
溅射离子泵的结构及其抽气机理
溅射离子泵又称潘宁泵,它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。
钛升华泵的极限压强与抽速
钛升华泵的极限压强:可达10-10Pa。钛升华泵的抽速较大,抽速可以计算。
钛升华泵的主要几种结构
钛升华泵的结构大致可分为三部分:吸气面、热丝(或升华器)和控制器。本文主要讲叙了升华器的几种类型结构。
钛升华泵的工作原理
利用加热的方法升华钛并使其沉积在一个冷却的表面上,对气体进行薄膜吸附的抽气装置,称为钛升华泵。