大型容器的检漏技术(2)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)北京真空电子技术研究所 作者:曹辉玲

二、目前国内外常用的大容器检漏方法

1、喷吹法:排气空间可进行单层或双层检漏。(如图1)

喷吹真空检漏法

2、氦盒法(如图2)

氦盒真空检漏法

3、氦罩法(如图3)

氦罩真空检漏法

  ■用边界下面泵、试验排气
  ■用氦气覆盖所有的或部分试验边界
  ■用氦检漏仪检测漏孔或测量总漏率。

  这种试验是可作为最普通的喷吹探漏

4、 负压分流法:
 
  目前国内外常用的大容器检漏方法,氦质谱负压分流法,

如图4所示,有三种不同连接方式

负压分流真空检漏法

图4 负压分流法的3种连接方式

1)、 负压分流法须解决的几个问题:

  1.1 质谱室工作压强,即氦质谱检漏仪最大入口压强20—1000Pa。

  1.2 针伐控制质谱室工作压强,使仪器灵敏度大大下降还能检查出漏孔。

  1.3 检漏仪接在被检系统上什么位置有利于提高检漏灵敏度,氦质谱检漏入口最大的氦抽速为0.2~1.2l/s。

  1.4 检漏时如何依据反应时间、喷枪移动速度决定采用的检漏程序。

2)、 三种不同连接方式的辅力系统设计应保证

  2.1 短时间排出检漏气体,维持检漏仪工作真空度。
  2.2 抽除检漏体和管道内的油气、水汽及其他解吸和蒸发气体以获得检漏环境。
  2.3 缩短示漏气体讯号(在检漏上)的响应时间、消除减少氦本底。

3)、 氦质谱负压分流喷吹法的检漏灵敏度

qmin=( SD¬¬+SP/ SD) Qmin

其中:SD¬¬为检漏仪支路对氦的抽速
        SP为分流泵对氦气的抽速
        Qmin为氦质谱检漏仪的有效灵敏度

  因此,辅助系统的设计决定了检漏灵敏度,除上述辅助系统设计应考虑问题之外,还应注意检漏系统的有效抽速,高、低真空的抽气时间,前级泵主泵的抽速匹配,辅助分流泵与检漏仪的抽速匹配和管路流导。

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