ASM181T氦质谱检漏仪的日常维护(1)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)阿尔卡特 作者:刘朝晖

1、机械泵维护

         (1) 每月检查机械泵油位,如果油位低于或快接近油位下限时,须添加机械泵油;如果油呈棕色、褐色,或闻起来有异味,说明油已变质。应将油放尽后,暂时将放油塞拧上,让泵在进气口打开的状态下运转约10s, 将留在机械泵循环通路中的油也放出,再拧开放油塞,放出残留的油。必要时,先用新油冲洗一遍,再加入新油。

         (2) 每3 个月更换机械泵油。检查油雾过滤器,若被油浸透,应更换。

2、离子源维护

         在对离子源作维护之前, 必须将检漏仪的主电源插头拔下。

         (1) 拆卸VHS放大器。将VHS放大器和离子源的电源接头卸下, 用内六角扳子拧下两个紧固螺钉, 拆下VHS 放大器,将VHS 放大器头朝下,放置在清洁处,注意防尘。

         (2) 清洗离子源底座。拧下6个螺钉,然后小心地把底座法兰垂直地提起来,接着用酒精清洗密封面。完成以上工作后,立即用密封圈专用模具将离子源开口盖住。

         (3) 取下灯丝。拆下3 个紧固螺钉,取下灯丝。

         (4) 拆下收集极。只要将两个紧固螺钉取下即可。

         (5) 换新灯丝和收集极。先将收集极用两个紧固螺钉固定在离子源座上( 不要将螺钉拧紧) 。接着将新灯丝的两个接头插入接线柱内,此时不要拧紧两个连接螺钉。

         (6) 部件的调整。灯丝织支撑架的两个安装面和其支撑座两个安装面紧贴上,拧紧紧固螺钉。调节收集极,使灯丝在左右方向位于收集极的中心(收集极开口两边应有同样的圈数) ;继续调整收集极,使灯丝在垂直方向平行于收集极的开口,且处于开口的中央。拧紧收集极的两个紧固螺钉。拧紧灯丝的两个连接螺钉。

         (7) 安装离子源和VHS放大器。仔细检查离子源的导向块上不要粘有其他物体,小心地将导向块慢慢地放入质谱室腔中,均匀拧紧6个螺钉即可。将VHS放大器仔细放在密封面上,均匀拧紧两个螺钉。最后,将VHS放大器和离子源的电线连接好。VHS 放大器、离子源等部件,对任何形式的污染及灰尘都十分敏感,在维护过程中必须特别注意。

3、复合分子泵润滑

        此维护过程每6个月进行一次。润滑脂注入器上带有一个黑色夹子和一个红色夹子, 这些夹子是用来确定注入轴承的油脂用量的。

        (1) 润滑前端轴承。将注入器插入螺钉孔,直到无法插入为止,按下注入器手柄直到其在夹子的红色标记处停止。

        (2) 润滑后端轴承。将红色夹子取下,把油脂(红色夹子宽度) 分别均匀地注入两个注入孔( 两个对称的通孔) 中。

        (3) 让轴承中润滑脂分布均匀。将分子泵电源板CD2 上的开关SW1 扳向“ R”位置,开机让泵运转约10min,然后关机。再将开关扳向“ N”位置。改变SW1 的位置时,均要求在不带电的情况下进行。

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